




氫氣檢漏法的主要設(shè)備
(1)檢漏儀:采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀,由于氫氣的上述性質(zhì),其靈敏度可以達(dá)到與氦檢相同水平。
(2)示蹤氣體充注控制器:對(duì)于批量生產(chǎn)的用戶,采用示蹤氣體充注控制器進(jìn)行抽真空/充氣/排氣操作,可以完成對(duì)檢測(cè)管道的充氣和排氣過(guò)程自動(dòng)化控制。
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氫氣檢漏法的工藝和方法
批量生產(chǎn)的用戶采用上述控制器進(jìn)行示蹤氣體的充注,達(dá)到收到壓力后控制器會(huì)給出提示,這時(shí)操作人員即可進(jìn)行檢漏操作,然后通過(guò)控制器把氣體排出。注意不可以直接將氣體排在檢漏位置,因?yàn)檫@樣會(huì)造成本底污染,使得后面的檢漏無(wú)法進(jìn)行。
工程安裝維護(hù)商可以采用手持式氮?dú)錂z漏儀(有帶氣瓶/表組的套裝產(chǎn)品供選擇),在現(xiàn)場(chǎng)需要查找系統(tǒng)漏點(diǎn)時(shí),先排空制冷劑,然后逐段充注5%氫+95%氮的示蹤氣體,用手持式氮?dú)錂z漏儀進(jìn)行巡檢式查漏。由于氫氣比空氣輕,所以泄漏出來(lái)的氫氣都會(huì)沿著管道等部件往上跑,并且可以穿透保溫材料,使用者可以在部件較高位置進(jìn)行檢漏,比采用其他方式查找漏點(diǎn)要容易得多,成功率也高很多。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過(guò)程中,判斷漏與不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置。
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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿?。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離,在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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真空設(shè)備檢漏
一個(gè)真空系統(tǒng),經(jīng)相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間抽氣之后,仍然達(dá)不到預(yù)期的真空度,可能的原因有:抽氣情況不良,即抽氣系統(tǒng)本身的問(wèn)題。放氣,即真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或氣源。漏氣,即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。至于漏氣是檢漏技術(shù)所要解決的問(wèn)題,即準(zhǔn)確檢出漏孔并加以修補(bǔ)。常規(guī)檢漏內(nèi)容包括:用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)中漏氣問(wèn)題是否存在。確定漏氣率??蛻粢部梢灾苯邮褂脷錃鈾z漏儀進(jìn)行高靈敏的檢漏以避免溫度變化帶來(lái)的對(duì)壓降法檢漏的影響。找出泄漏部位,以便修補(bǔ)堵漏。
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